基于多光谱散射光照明的光滑表面疵病识别方法研究
朱成祥1
陈泽卿1
葛爱明2
1.上海航空电器有限公司,上海 2011002.复旦大学 信息科学与工程学院,上海 200438
摘要：随着光学技术的不断发展,现代光学工业对光学元件表面质量的要求越来越高,其表面的气泡、划痕、碎边等疵病的存在都将造成不同程度的散射,严重影响成像质量.目前国内外对精密光学元件表面的疵病检测大多是根据疵病对光的不同的散射特性来判别,如目视法和低通滤波成像法等.但由于一些光滑表面的疵病在不同的光照射下,疵病显现不同,特别有些疵病具有光强选择和光谱选择性,深入研究不同光强和不同光谱照射被测表面,对于光滑表面的精密检测具有重大的实际意义.本文采用光学显微散射成像系统,通过光纤光源产生四种单色散射光及其组合,以及特定的角度照射光学元件的光滑表面检测,对不透明、半透明、以及全透明的光滑表面照明成像,调整照明角度、光强、单色光与多光谱光组合的照明方式,进入光学成像系统,对多光谱采集的图像融合,并经过计算机处理,得到光学元件表面的疵病信息.该方法可以大大提高光滑表面的疵病发现和检测精度,理论与实验验证了该检测方法的可行性.
关键词：散射光表面疵病照明系统图像处理
分类号：O432(光学)
论文发表日期：2025-06-30
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 146-152 )
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