印刷线路板加工工艺制作微腔等离子体阵列
陈岗
山东警察学院,山东济南,250101
摘要：采用印刷电路板工艺制作了微腔等离子体阵列,并测量了该阵列的放电特性.该器件采用标准的印刷线路板工艺制作而成,可以降低微腔等离子体器件制作的难度和提高阵列的一致性.实验结果表明,限流电阻为10kΩ情况时,直径100μm,间距150μm的微腔在一个大气压的氖气中放电电流最大值可达30mA.随着驱动电压的增加,放电电流的最大值不断升高而放电延时不断降低.
关键词：微腔等离子体阵列印刷线路板工艺放电电流放电延时
论文发表日期：2009-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：2( 70-71 )
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