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DOI: 10.3969/j.issn.1672-9528.2001.04.025

真空微电子器件应用研究

张连俊¹

罗恩泽²

1.山东工程学院,淄博,2550122.西安电子科技大学,西安,710071

摘要：本文叙述了场致发射的机理及几种不同类型场致发射阴极的特点,并对场致发射技术在真空微电子器件方面的应用进行了分析.

关键词：场致发射场发射阴极类金刚石薄膜真空微电子器件

分类号：TN6(电子元件、组件)

论文发表日期：2001-01-01

在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）

页数：2( 41-42 )

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山东电子

ISSN：1672-9528

年,卷(期)：2001,(4)

所属栏目：电子器件与应用