基于玻璃基底微流控芯片的制备
程佳1
朱纪军1
SIMON S. Ang2
1.东南大学吴健雄实验室,江苏,南京,2100962.阿肯色州大学电子工程系,阿肯色州费耶特维尔,72701,美国
摘要：介绍一种基于玻璃基底微流控芯片的制作方法,通过光刻工艺在玻璃基底表面刻蚀出微通道.利用氧等离子体对聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)和微通道所在的基底表面进行处理,使PDMS与基底表面性质由疏水性变为亲水性,完成PDMS与玻璃基底的共价键结合.通过实验表明,经氧等离子体处理之后的PDMS与玻璃基底的密封效果较好.鉴于PDMS具有良好的热稳定性,无毒性,以及较好的光学特性等,此微流控芯片可用于生物医学以及化学领域中的化学发光及荧光检测.
关键词：微流控芯片聚二甲基硅氧烷氧等离子体曝光显影湿法刻蚀
分类号：R318(医用一般科学)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2026-09-11（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 179-182 )
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