钨/类金刚石复合膜的摩擦磨损行为研究
汪云海1
李星2
强克迪3
毛晶晶2
1.航天科工武汉磁电有限责任公司特种材料检测试验中心 湖北武汉430000;珠海格力电器股份有限公司工艺研究中心 广东珠海5190002.航天科工武汉磁电有限责任公司特种材料检测试验中心 湖北武汉4300003.珠海格力电器股份有限公司工艺研究中心 广东珠海519000
摘要：采用复合磁控溅射法在高速钢HAP40表面制备了钨(W)/类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)复合膜,通过调整工艺参数获得了5μm厚的复合膜(W层:1.7μm;WXCY层:0.3 μm;DLC层:3μm),重点研究了W/DLC复合膜的结构组分、截面形貌和摩擦磨损行为.结果 表明:W和WXCY复合层的存在有利于降低DL层的生长内应力,改善其界面结合情况;W/DLC复合膜的主要磨损形式为滑动磨损,表面基本没有粘附铝元素,但是会吸附空气中或润滑油中的氧;W/DLC复合膜中存在大量氢原子饱和σ悬键,使复合膜表面被钝化,进而获得低摩擦系数.
关键词：磁控溅射类金刚石膜复合膜摩擦磨损表面钝化
分类号：TB332(工程材料学)
论文发表日期：2021-08-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 86-90 )
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