残余应力对微膜动力学性能的影响研究
吴化勇1
刘文平2
1.山东交通学院 航空学院,济南 2503572.山东大学 机械工程学院,济南 250061
摘要：[目的]针对微机电薄膜中的残余应力问题,开展了具有残余应力微膜的动力学性能研究.[方法]首先,建立具有残余应力微薄板的数学模型,研究了残余应力对微膜固有频率和振型的影响规律,讨论了残余应力对板、膜行为特性转变的影响.然后,基于最小势能原理研究了具有残余应力微膜的稳定性,提出了防止微膜压曲的措施,分析了微膜在简谐激励下的振动响应.[结果]结果表明,残余应力会引起板、膜行为的转变,残余应力对固有频率影响显著,但对振型的影响较小;通过改变薄膜的结构参数和制备工艺,可有效防止薄膜失稳;残余应力对微膜固有频率和振动位移的影响呈相反的变化趋势.研究结果对微膜结构的微机电系统发展具有重要的参考意义和应用价值.
关键词：微膜残余应力微机电系统动力学稳定性
分类号：TH113.1(机械学（机械设计基础理论）)
论文发表日期：2026-01-31
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 88-92 )
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