反应烧结碳化硅超声线锯切割试验研究
宋洪侠
曾国伟
晁胜豪
郭晓光
董志刚
王毅丹
大连理工大学 高性能精密制造全国重点实验室,大连 116024
摘要：反应烧结碳化硅(Reaction Bonded Silicon Carbide,RB-SiC)因其优异的热稳定性、耐辐射性以及化学惰性,被广泛应用于核能和光学领域核心构件的制造.但是,RB-SiC材料具有硬度高、脆性大等特点,传统加工方法难以保证其加工质量和效率.超声金刚石线锯切割(锯切)技术作为硬脆材料的高效加工方法,已在单晶Si、单晶SiC等硬脆材料的加工中成功应用.然而,该技术在RB-SiC材料的切削试验和工艺的研究还有待开展.为此,首次开展了RB-SiC的超声锯切试验研究,搭建了超声锯切RB-SiC平台,对比分析了平行与垂直超声振动方向的加工表面质量,研究了超声振幅、线速度、进给速度参数对表面粗糙度及表面微观形貌的影响规律.试验结果表明,超声锯切在提高表面质量等方面具有显著优势.随着振幅由3 μm提高到7 μm,表面粗糙度值降低了17.4%,表面划痕和凹坑数量随之减少;相较于垂直进给方向,平行进给方向的超声锯切更能有效提高RB-SiC材料的表面质量.本研究可为RB-SiC材料超声锯切工艺研究提供指导.
关键词：超声锯切反应烧结碳化硅金刚石线锯超声振动表面质量
分类号：TH162(机械制造工艺)
论文发表日期：2025-09-15
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：10( 164-173 )
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