无驱动冗余的单层纯中心压电旋转平台
吴豫席1
杨依领1
吴高华1
杜慧林2
魏燕定2
1.宁波大学 机械工程与力学学院,宁波 3152112.浙江大学 机械工程学院 浙江省先进制造技术重点实验室,杭州 310027
摘要：为了实现微纳操作任务中所需的高精度、纯中心旋转运动,采用单个压电驱动器致动二级柔顺放大机构,设计了一款单层、纯中心柔顺旋转平台.与传统压电旋转平台相比,所设计的旋转平台具有无驱动冗余、固有频率高、旋转角度大和结构紧凑优点.结合伪刚体法和有限元法,建立了旋转平台的静力学与动力学模型,并利用Ansys软件对输出转角、输入刚度、输出刚度和固有频率进行仿真.最后搭建实验测试系统,通过多组实验测试平台性能,并利用前馈控制补偿压电迟滞现象.实验结果表明,平台旋转角度为 16.8 mrad,固有频率为 527.3 Hz,分辨率为 0.3 μrad,前馈控制能有效补偿迟滞非线性,实现高精度纯中心旋转操作.
关键词：压电驱动柔顺机构纯中心旋转大行程
分类号：TN384(半导体技术)
论文发表日期：2024-08-15
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 846-852 )
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