仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
张旭1
赵锐1
石云波1
祖凯旋1
张洁宇1
闫晓朋2
1.中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原 0300512.山西北方机械制造有限责任公司,太原 030000
摘要：针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万gn过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30 000gn、量程50gn的指标要求.有限元仿真结果表明,在50gn载荷作用下,加速度计敏感单元位移为0.99 μm,灵敏度为0.124 pF/gn;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30 000gn过载作用下承受的等效应力的最大值从1 022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性.
关键词：加速度计抗冲击电容式低量程仿生缓冲结构微机电系统
分类号：TH703(仪器、仪表)
论文发表日期：2024-04-15
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 410-415 )
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