仿桥梁护舷式抗高过载加速度传感器设计
刘小柔
赵锐
石云波
郭晋
吴国璋
朱京通
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051
摘要：为了解决用于外弹道信息测量的MEMS加速度传感器无法承受弹丸发射过程中膛内的高过载,易产生器件损坏的问题,设计了一种具有抗高过载能力的低量程电容式加速度传感器.在传感器梁上应力较大、相对易受到撞击而产生断裂的端部位置设置了仿桥梁护舷式的防护台结构,该结构能以自身形变吸收部分撞击时的能量,从而减小传感器本身因撞击而产生的变形.有限元仿真结果表明:引入这种桥梁护舷式防护台的加速度传感器在30000g过载情况下受到的应力由引入前的994.88 MPa降低至70 MPa,因过载导致器件损伤断裂的可能性大幅降低,符合提高传感器抗过载能力的设计预期.
关键词：低量程抗过载加速度计防护结构微机电系统(MEMS)
分类号：TH703(仪器、仪表)
资助基金：国家自然科学基金(61704158)
论文发表日期：2021-10-15
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 1149-1154 )
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