MEMS中梯形变截面梁优化设计
孙江宏
鹿昆磊
易源霖
韩建男
1.北京信息科技大学机电工程学院,北京,1001922.北京信息科技大学机电工程学院,北京,1001923.北京信息科技大学机电工程学院,北京,1001924.北京信息科技大学机电工程学院,北京,100192
摘要：MEMS器件结构设计影响传感器的性能.为了提高加速度计系统稳定性,选用梯形变截面梁减小应力集中,同时将检测方向刚度和非检测方向刚度差值最大,减小交叉灵敏度并提高工作稳定性;为使系统动态特性达到最佳,选用合适的阻尼比ξ,计算出梁检测方向理论刚度.建立梯形变截面梁的力学模型,得到梯形变截面梁刚度方程,并给出了梁的强度.梯形等截面梁和梯形变截面梁同等刚度条件下,变截面梁质量稍微增加,但危险截面处应力大幅下降.
关键词：梯形变截面梁刚度动态特性稳定性强度
分类号：TH703.2(仪器、仪表)
资助基金：国家重大科学仪器设备专项(2014YQ24044504)科技创新服务能力建设基金(71F1810929)
论文发表日期：2019-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 871-875 )
英文信息