基于响应曲面法与改进非支配遗传算法电火花线切割单晶硅工艺优化
陈玉龙
李淑娟
卜文浩
王馨翊
1.西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,7100482.西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,7100483.西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,7100484.西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,710048
摘要：单晶硅加工过程中追求切削效率与表面质量既可以提高晶圆自身品质又可以降低生产成本.通过响应曲面法(RSM)建立关于输入参数电压、脉宽、脉间、线锯速度与工艺结果的二阶模型,方差分析表明模型方程可行性.运用改进非支配遗传算法(NSGA-Ⅱ)对加工工艺进行优化可以得到一组关于工艺结果的非支配解,这些非支配解可以满足不同条件下工程加工者的需要.进行相应实验验证非支配解可行.
关键词：电火花线切割单晶硅响应曲面法NSGA-Ⅱ
资助基金：国家自然科学基金(51575442)
论文发表日期：2019-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 98-103 )
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