静电驱动微悬臂梁静态吸合特性的尺寸效应研究
芦非
孔胜利
袁艳琪
1.齐鲁工业大学机械与汽车工程学院,济南,2503532.齐鲁工业大学机械与汽车工程学院,济南,2503533.齐鲁工业大学机械与汽车工程学院,济南,250353
摘要：基于修正偶应力理论研究了静电驱动微悬臂梁在考虑Casimir力时的静态吸合特性.利用最小势能原理得到了微悬臂梁弯曲的控制方程和边界条件,应用广义微分求积法(GDQM)求解后得到静电驱动微悬臂梁吸合电压与无量纲吸合位移的数值解.结果表明,基于修正偶应力理论的静电驱动微悬臂梁的吸合电压明显高于经典理论值,表现出明显的尺寸效应;同时Casimir力降低了微悬臂梁的吸合电压与无量纲吸合位移.当微悬臂梁的初始间隙g远远大于其厚度h时,Casimir力的影响可以忽略不计.
关键词：修正偶应力理论尺寸效应吸合特性Casimir力广义微分求积法
分类号：O343.9(固体力学)
资助基金：国家自然科学基金(51405253)
论文发表日期：2018-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 1336-1340 )
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