贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响
郭惠玉
文丰
康强
石云波
王艳阳
1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原0300512.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原0300513.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原0300514.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原0300515.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051
摘要：贴片工艺是高量程MEMS加速度传感器封装工艺中一个非常重要的环节,对传感器的灵敏度和可靠性具有重要的影响.根据一种自制的、量程为XX的高量程MEMS加速度传感器的贴片封装模式,利用有限元分析法建立了传感器的贴片封装模型,基于理论、有限元方法研究了贴片胶弹性模量对传感器性能的影响.使用两种不同弹性模量的贴片胶对传感器进行了封装,开展了基于霍普金森压杆测试系统的传感器性能测试试验.模拟和试验结果表明:对于使用贴片封装模式的高量程MEMS传感器,其灵敏度随着贴片胶弹性模量的增加而相应的提高.
关键词：封装贴片工艺高量程MEMS加速度传感器弹性模量有限元分析霍普金森杆
分类号：TP212(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金项目(51225504)The project supported by the National Natural Science Foundation of China(51225504)
论文发表日期：2018-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 83-87 )
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