MEMS中变截面梁优化数学模型的建立
易源霖
孙江宏
1.北京信息科技大学机电工程学院,北京1001922.北京信息科技大学机电工程学院,北京100192
摘要：MEMS结构中采用变截面梁来降低应力集中的影响.建立变截面梁弯曲和振动的数学模型,对MEMS器件加工工艺提供可靠的理论依据.以增加空间利用率且保持最大转角、最大挠度和基频不变作为前提条件,分别构建最大转角尺寸刚度、最大挠度尺寸刚度表达式和基频关系式,并结合有限元分析,构建对原设计方案的优化思路,为MEMS中类似结构的设计提供优化方法.
关键词：MEMS变截面梁最大转角尺寸刚度最大挠度尺寸刚度基频
分类号：TH16(机械制造工艺)TP242(自动化技术及设备)
资助基金：The project supported by the the national natural science fund(No.51275052)and the key projiect of natural science foundation of beijing city(No.3131002)and the key projiect of beijing scientific research plan(No.KX201311232036)国家自然科学基金(51275052)北京市自然科学基金重点项目(3131002)北京市教委科研计划重点项目(KX201311232036)
论文发表日期：2014-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
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