复杂微结构偏轴刚度的求解
刘妤
郭长文
王国超
1.重庆理工大学,汽车学院,重庆,400050;重庆市汽车零部件及其检测技术重点实验室,重庆,400050;重庆市汽车动力系统及控制工程技术研究中心,重庆,4000502.重庆理工大学,汽车学院,重庆,400050;重庆市汽车零部件及其检测技术重点实验室,重庆,400050;重庆市汽车动力系统及控制工程技术研究中心,重庆,4000503.重庆理工大学,汽车学院,重庆,400050;重庆市汽车零部件及其检测技术重点实验室,重庆,400050;重庆市汽车动力系统及控制工程技术研究中心,重庆,400050
摘要：微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动力学特性的一个重要参数.目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式.文中依托自主设计的一种具有复杂微结构的二维加速度传感器,综合运用力法和功能原理推导微结构偏轴刚度的解析式,为实现考虑交叉干扰因素的微结构几何参数优化奠定基础.推导中全面考虑各变形梁的影响,所以理论计算值与仿真值吻合.推广应用算例表明,该方法具有普遍意义,可应用于具有对称、超静定特征的复杂微结构的位移计算和刚度分析.
关键词：微机电系统加速度传感器微结构刚度力法功能原理
分类号：TP212(自动化技术及设备)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 183-188 )
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