静电微泵吸合与释放特性研究
应济
李俊
王硕
徐亮
1.浙江大学,机械工程学系,杭州,3100272.浙江大学,机械工程学系,杭州,3100273.浙江大学,机械工程学系,杭州,3100274.浙江大学,机械工程学系,杭州,310027
摘要：为避免静电微泵因驱动电压过高而出现吸合现象,建立描述静电泵膜吸合与释放现象的一维集中质量模型、二维分布式模型和三维有限元模型,对比研究静电致动泵膜在准静态下吸合与释放的循环过程,获得整个循环过程的泵膜挠曲线变化、泵腔体积变形、电容变化等大量的数据与曲线.比较结果表明,二维分布式模型求解效果最好,并利用三维有限元模型和宏模型的计算结果,验证该模型在泵膜大变形下计算吸合过程的准确性,获得的吸合电压为确定静电微泵驱动电压的上限值提供有效依据.
关键词：微机电系统(micro-electro-mechanical systemMEMS)静电微泵吸合释放
分类号：TH323(泵)TB125(工程基础科学)
资助基金：浙江省自然科学基金重点项目(Z106519)国家自然科学基金(50475104)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 68-72 )
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