橡胶空气弹簧隔振设计及性能分析
李宇燕1
黄协清2
1.西安工业大学机,电工程学院,西安,7100322.西安交通大学,机械工程学院,西安,710049
摘要：压印光刻机是一种精密仪器,外界环境激励对压印光刻机的影响很大.橡胶空气弹簧是一种气囊减振器,用橡胶空气弹簧隔离外界环境对压印光刻机的干扰,能保护压印光刻机免受低频激励力的激励,文中阐述压印光刻机低频橡胶空气弹簧单自由度隔振系统的隔振原理,确定橡胶空气弹簧的刚度及隔振系统的固有频率,隔振系统的固有频率及隔振效率的理论结果与实际隔振系统的试验结果相吻合,表明压印光刻机的低频隔振设计是合理可行的.
关键词：隔振橡胶空气弹簧刚度振动传递率
分类号：TB535.1(声学工程)O322(振动理论)
资助基金：国家自然科学基金(50805112)
论文发表日期：2010-09-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 711-714 )
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