纳米测量系统气体轴承瞬态研究
高思田1
卢明臻2
施玉书2
崔建军2
杜华2
1.天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;中国计量科学研究院,长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京,1000132.中国计量科学研究院,长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京,100013
摘要：为了消除气体轴承固有纳米级微振动,需要研究气体止推轴承上气和排气的瞬态过程.应用流体力学方程,计算得到气体轴承的外特性.设计一个适用于气膜厚度为微米量级的气体轴承实验机构,进行不同负载下气体轴承上气和排气过程的实验.实验结果较好地验证了理论分析的合理性,上气过程随着负载的增加出现初速度不为零的阶跃过程,排气过程中气膜厚度的变化随压强的变化呈现三次函数关系.为下一步控制研究提供重要的理论和实践基础.
关键词：纳米气体轴承微振动瞬态计量学
分类号：TH133.35(机械零件及传动装置)TH711(仪器、仪表)
论文发表日期：2009-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 584-587 )
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