计及毛细力作用时旋转式MEMS/NEMS致动器的吸合稳定性
周丽军1
郭建刚2
亢一澜2
1.天津工程师范学院,机械系,天津,3002222.天津大学,力学系,天津,300072
摘要：建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响.得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正.研究没有外加电压引起的静电力作用时,旋转式MEMS/NEMS致动器在毛细力作用下的失稳现象,给出致动器的失稳准则,以及失稳时致动器的临界特征几何尺度.
关键词：微/纳电子机械系统致动器吸合稳定性毛细力
分类号：TN303(半导体技术)O317(理论力学（一般力学）)
资助基金：国家自然科学基金(10802057)国家自然科学基金(10732080)
论文发表日期：2009-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 391-395 )
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