基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为表征
周向阳
蒋庄德
俞瑞霞
王海容
1.机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049;西安交通大学,精密工程研究所,西安,7100492.机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049;西安交通大学,精密工程研究所,西安,7100493.4.机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049;西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049
摘要：准确了解微/纳米特征尺度条件下材料的力学性能是MEMS/NEMS(micro/nano electro-mechanical system)材料实际应用的一个关键前提条件.文中研究基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为的表征方法,包括高聚物、一维结构纳米材料和形状记忆合金等.研究结果表明,纳米压人技术是评定这些新型MEMS/NEMS材料力学性能的有力工具,并可作为有效的实验手段,揭示力学行为与其依存诸因素之间的内在关联.
关键词：纳米压入力学性能尺度效应高分子聚合物纳米材料形状记忆合金
分类号：O343(固体力学)O484.5(固体物理学)TG115.5(金属学与热处理)
资助基金：国家自然科学基金(50535030)国家自然科学基金(50405030)国家重点基础研究发展计划（973计划）(2004CB619302)
论文发表日期：2008-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：8( 199-206 )
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