范德华力对硅基微悬臂梁抗粘附稳定性的影响
张建
丁建宁
王权
张华中
1.江苏大学,微纳米科学技术中心,江苏镇江,2120132.江苏大学,微纳米科学技术中心,江苏镇江,2120133.江苏大学,微纳米科学技术中心,江苏镇江,2120134.江苏大学,微纳米科学技术中心,江苏镇江,212013
摘要：通过在硅微悬臂梁与基底表面上涂覆低表面能的憎水性OTS(CH3(CH2)17SiCl3)膜,以除去接触面间的表面张力;把梁与基底均接地,以除去接触面间的静电力,研究仅有范德华力作用时,硅微悬臂梁结构的抗粘附稳定性.根据两接触面均为粗糙表面的微观实际接触模型,在接触表面产生塑性变形的情况下,计算范德华粘附能大小,并分析表面形貌对其影响,得到粗糙表面接触的微梁抗粘附临界长度.
关键词：微纳器件范德华力粘附稳定性
分类号：TH117.1(机械学（机械设计基础理论）)O343.3(固体力学)
资助基金：国家自然科学基金(50475124)教育部新世纪优秀人才支持计划(NCT-04-0515;2003335)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 923-926 )
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