大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能
吴昊
孟永钢
苏才钧
郭占社
温诗铸
1.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000842.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000843.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000844.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000845.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084
摘要：为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性,发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统,利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性.实验试件采用MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造,具有相同的长度、厚度和不同的宽度.每个加载条件下重复10次实验,应用Weibull方法对疲劳实验数据进行处理,得到0.35 GPa～0.70 GPa应力幅值范围内5个应力水平下多晶硅薄膜拉伸疲劳的S-N曲线.研究表明,多晶硅薄膜的疲劳寿命随着交变载荷幅值的减小而增大,二者呈对数线性关系.该结果可以直接用于多晶硅薄膜材料MEMS器件的可靠性设计.
关键词：微机电系统多晶硅薄膜疲劳
分类号：O484.5(固体物理学)TB302.3(工程材料学)O346.2(固体力学)
资助基金：国家自然科学基金(50525515)基础研究项目(2003CB716205)教学改革项目(Jc2003013)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 919-922 )
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