微机械电磁阻尼结构分析
赵军
徐静
吴亚明
1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,2000502.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,2000503.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
摘要：提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度.通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性.
关键词：微机械电磁阻尼振动稳定时间
分类号：TN305(半导体技术)
资助基金：国家高技术研究发展计划(863计划)(2003AA312070)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 749-753 )
英文信息