极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响
吴浩1
车录锋2
王俊杰1
王跃林2
1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院研究生院,北京1000392.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
摘要：根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响,建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型.通过电学模拟,分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响.结果表明,当传感器受阶跃信号的冲击时,可靠工作范围随极板倾斜程度的增大而减小,并且模拟结果还表明, 在欠阻尼情况下传感器的可靠工作范围比临界阻尼或过阻尼情况下要小.
关键词：加速度传感器非平行极板阻尼等效电学模型阶跃响应可靠工作范围
分类号：TP212.12(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(60304019)国家自然科学基金(2004AA404210)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 745-748 )
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