基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统
鲍海飞1
李昕欣1
张波2
郭久福2
韩建强1
1.中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,上海,2000502.上海爱建纳米科技发展有限公司,上海,200237
摘要：原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间.随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统.在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展.基于原子力显微镜中的一个最基本的力-位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试.相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取.
关键词：原子力显微镜微纳结构硬件软件悬臂梁力学测试
分类号：TH742(仪器、仪表)
资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）(2004AA4045)国家自然科学基金(60376038)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 223-227 )
英文信息