高速微转子枢轴磨损特性分析
张文明
孟光
周健斌
1.上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,2000302.上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,2000303.上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,200030
摘要:微转子枢轴是MEMS(micro-electro-mechanical system)旋转机械中的主要驱动部件之一,在系统高速运转过程中会受到严重的摩擦磨损影响.文中采用统计学方法和分形方法分别分析微尺度效应对MEMS磨损的影响,建立半球形枢轴的数学模型,并分析其磨损率与摩擦力矩,探讨枢轴结构参数与操作参数对系统磨损特性的影响.仿真结果表明,尺度减小,磨损系数变小,增大载荷或增加微枢轴旋转次数均会加剧磨损程度.
关键词:微机电系统微转子枢轴磨损
分类号:TH13(机械零件及传动装置)
资助基金:国家自然科学基金(10325209)
论文发表日期:2007-01-01
在线出版日期:2026-09-12(本平台首次上网日期,不代表文献的发表时间)
页数:4( 12-15 )
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机械强度

机械强度

北大核心CSTPCD
ISSN:1001-9669
年,卷(期):2007,29(1)
所属栏目:微电子机械系统