大位移多折叠梁静电驱动器的设计及力学性能分析
赵江铭1
陈晓阳2
王小静2
1.上海大学,机电工程与自动化学院,上海,200072;郑州大学,机械工程学院,郑州,4500012.上海大学,机电工程与自动化学院,上海,200072
摘要：针对现有微静电梳状谐振器用作驱动器时输出位移极小的弱点,提出一种结构新颖、输出位移大、能工作于谐振状态和静电力状态下的多折叠梁微静电驱动器设计方案.建立该驱动器的力学分析模型,给出位移、弹性系数和谐振频率的解析公式.研究表明,当特征尺寸相同时,与常用的直脚型和蟹脚型谐振器相比,在相同电压下其输出位移可提高7倍～14倍,而在相同最大应力条件下其位移输出能力可提高4倍～9倍.
关键词：微机电系统微静电驱动器大位移输出结构设计
分类号：TP3(计算技术、计算机技术)
资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）(G1999033109)上海市青年科技启明星计划(03QF14019)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 5-11 )
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