基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究
丁雷1
尚德广1
张大成2
沈通1
贾冠华1
阎楚良1
1.北京工业大学,机电学院,北京,1000222.北京大学,微电子学系,北京,100871
摘要：设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作.对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用ANSYS机电耦合单元对装置的振动过程进行模拟,模拟结果与理论分析相吻合.研究结果表明在一定范围交流电压的驱动下试样能达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平,并对该电压范围进行预测.
关键词：微机电系统疲劳梳状驱动器有限元方法机电耦合分析
分类号：TP3(计算技术、计算机技术)
资助基金：国家自然科学基金(50575004)
论文发表日期：2006-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 684-689 )
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