高加速度运动和精确定位臂的振动主动控制
周烁1
李运堂2
孟光1
丁汉1
1.上海交通大学,振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,2000302.上海交通大学,机器人研究所,上海,200030
摘要：刚/柔耦合结构的高加速度运动和精确定位一直是航空航天机构、精密设备和机器人等高尖端技术领域的关键功能要求.文中以微电子和半导体制造领域中的高速精准运动臂为研究对象,首先回顾相关的结构动力学研究成果,从而对系统动力学特性进行系统总结;在此基础上,重点对振动主动控制方法进行分析和讨论,最后结合实际工程背景,提出目前尚需解决的关键问题以及相应的解决问题的新思路,从而为进一步的研究进展或突破提供可能.
关键词：振动主动控制耦合运动高加速度运动精确定位
分类号：TB535(声学工程)TB533(声学工程)
资助基金：国家自然科学基金(50390060)
论文发表日期：2006-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 6-12 )
英文信息