MEMS器件建模与仿真分析方法研究
吕胜利
韩永志
1.西北工业大学,国防科技研究院,西安,7100722.西北工业大学,国防科技研究院,西安,710072
摘要：基于主振型叠加法和拉格朗日动力学方程,建立微机电系统多场耦合分析的宏模型.这一模型是由常微分方程组成的有限自由度系统,自由度较少,系统状态方程简单,显著地减少计算时间,为micro-electro-mechanical systems(MEMS)设计提供一种有效而准确的分析工具.算例表明,文中所提方法用于MEMS器件建模仿真分析是有效的.
关键词：微机电系统宏模型微梁仿真
分类号：O343.7(固体力学)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 480-483 )
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