偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析
董林玺1
孙玲玲1
王跃林2
1.杭州电子科技大学,微电子CAD研究所,杭州,3100182.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
摘要：为了测得电容式传感器的电容变化,一般需要有直流偏置电压的交流驱动信号加到传感器上,然而驱动信号产生的静电力会干扰传感器的测量和可靠工作条件.文中分析差分电容传感器受到阶跃加速度信号作用时,不同偏置电压极性对可靠工作条件的影响,得到不同偏置电压极性下传感器的临界阶跃加速度与随测试信号电压和反馈系数的关系表达式及其变化曲线.结果表明若偏置电压极性为正-正或正-负配置,其电子机械反馈本质上是负反馈,且偏置电压极性为正-负配置时,传感器承受阶跃加速度冲击的能力最强.若偏置电压极性为负-负或负-正配置,其电子机械反馈本质上是正反馈,偏置电压极性为负-正配置时,其抗阶跃加速度冲击的能力最低.
关键词：电容式传感器惯性传感器可靠工作范围阶跃信号偏置电压极性
分类号：TP212.1(自动化技术及设备)
资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）(G1999033101)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 465-469 )
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