单晶硅微构件力学特性片上测试系统
苏才钧
吴昊
郭占社
孟永钢
温诗铸
1.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000842.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000843.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000844.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,1000845.清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084
摘要：设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统.详细介绍测试系统的结构和工作原理.对静电梳状驱动器的驱动电压-驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算.利用MEMS(micro-electro-mechanical system)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比.结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试.
关键词：微电子机械系统单晶硅片上测试静电梳状驱动器疲劳
分类号：TB302.3(工程材料学)
资助基金：国家自然科学基金(50135040)基础研究项目(2003CB716205)教学改革项目(Jc2003013)
论文发表日期：2005-07-02
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 456-459 )
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