多晶硅微机械构件损伤的表面效应
丁建宁
江苏大学,微纳米科学技术研究中心,镇江,212013
摘要：利用电磁力驱动微拉伸装置,考察多晶硅微构件表面粗糙度和施加表面分子自组装膜(octadecyltrichlorosilane,简称OTS)对抗拉强度及断裂损伤的影响.结果表明,微构件的抗拉强度表现出依赖表面性质的表面效应.抗拉强度随表面粗糙度的增加而降低,并受环境气氛的影响.当构件表面施加表面分子自组装膜后,在以上两因素的作用下,多晶硅微构件的抗拉强度提高了32.46%.研究结果可用于微机械构件的材料表面改性设计.
关键词：微型机械多晶硅抗拉强度表面粗糙度表面分子自组装膜
分类号：TH11(机械学（机械设计基础理论）)
资助基金：江苏省自然科学基金(BK2002147)教育部国家留学基金(200330)国家重点基础研究发展计划（973计划）(2004CB619305)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 211-216 )
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