静电微电机及其可靠性分析
张文明
孟光
周健斌
1.上海交通大学,振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,2000302.上海交通大学,振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,2000303.上海交通大学,振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,200030
摘要：自1987年首台静电微电机诞生以来,微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展.对静电微电机的可靠性研究现状进行综述,介绍静电微电机主要结构元件呈现的失效模式和机理,以及摩擦、磨损、粘附等特性对微电机运行稳定性的影响,从不同角度探讨减少微电机失效的问题,介绍各种测试方法、检测仪器、润滑抗粘附材料和解决方案,并对相关领域的工作进展进行总结和展望.
关键词：微电子机械系统静电微电机可靠性
分类号：TP202(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(10325209)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 50-56 )
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