曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计
董健1
李昕欣2
王跃林2
张鲲2
宋朝晖2
1.浙江大学,信息与电子工程系,杭州,310027;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,2000502.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
摘要：给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型,此传感器为整体式悬臂梁结构,采用硅微机械加工技术制作,便于封装和大批量低成本制造.其敏感方向在硅片平面内,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端,两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接;悬臂梁的过载保护采用上下两个曲面,一方面有效地提高悬臂梁的过载保护能力,另一方面调节加速度传感器的压膜阻尼,使之接近临界阻尼,有效抑制自由振动模态,提高测量精度.
关键词：曲面过载保护冲击硅微机械加速度传感器压膜阻尼
分类号：TP212(自动化技术及设备)
论文发表日期：2003-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 148-150,214 )
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