变截面微管道的制作与气体流动特性分析
丁英涛
姚朝晖
郝鹏飞
1.清华大学,工程力学系,北京,1000842.清华大学,工程力学系,北京,1000843.清华大学,工程力学系,北京,100084
摘要：为提高硅微无阀泵和空间微推进器的性能,采用微电子机械工艺在硅片上加工出不同长度、不同喉部宽度、断面形状为矩形的变截面微管道,实验测量微管道内氮气的流量特性,分析不同因素对流动特性的影响.研究发现,相同变截面微管道,扩张方向的性能好于收缩方向;不同变截面微管道,随着扩张角、等直段长度、宽度的不断增加,流动性能逐渐提高.
关键词：变截面微管道扩张角微电子机械系统体积流量Knudsen数
分类号：O354.1(流体力学)
资助基金：国家自然科学基金(10272066)
论文发表日期：2003-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 144-147 )
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