高量程加速度计的力学性能分析
王钻开
宗登刚
陆德仁
1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,2000502.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,2000503.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
摘要：提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法.该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量.得到的结果表明,当梁与质量块的厚度比变得较大时,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值.该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比,偏差由90%下降到15%.最后进行了静态测试,结果与改进模型基本相符.
关键词：静态测试加速度传感器微电子机械系统灵敏度频率
分类号：O343(固体力学)
资助基金：国家重点基础研究发展计划(973计划)(G1999033103)
论文发表日期：2002-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 515-517 )
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