压电驱动柔性铰链机构传动实现超精密定位
吴鹰飞
周兆英
1.清华大学精密仪器与机械学系,北京,1000842.清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
摘要：简单介绍压电元件和柔性铰链的概念与特点.列举压电元件与柔性铰链机构结合实现超精密定位的典型例子,包括超精密测量、超精密加工、光学自动聚焦和大行程超精密定位.为使超精密定位工作台的结构紧凑,提出单驱动多自由度运动机构.应用蠕动式的运动原理可合成机构上的多自由度运动,并实现大行程运动.设计了对称结构的柔性铰链机构实现导向功能.制造和装配了微小型平面工作台.
关键词：压电元件柔性铰链超精密定位
分类号：TH703(仪器、仪表)
论文发表日期：2002-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 157-160 )
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