MEMS器件的计算机辅助设计与模拟
孙克豪1
钱劲2
张立宪2
余同希3
赵亚溥2
1.南京航空航天大学航空宇航学院,中国科学院力学研究所2.中国科学院力学研究所3.香港科技大学机械工程系,
摘要：概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程,分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题,讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围.并结合静电微马达与微米/纳米镊子实例,分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接,所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟.
关键词：微电子机械系统计算机辅助设计模拟数据库
分类号：TP39(计算技术、计算机技术)
资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）(G19990331103)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 488-494 )
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