硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立
姜岩峰
黄庆安
1.东南大学微电子中心,2.东南大学微电子中心,
摘要：文中的工作属于MEMS计算机辅助设计(CAD)中的一部分内容.介绍了如何建立硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统,给出这个工艺模拟系统的结构框图,并就已给出框图中几个重要的方面进行了叙述.在这个框图的基础上,用C语言编写出了相应的模拟硅各向异性腐蚀工艺的软件,并给出软件的界面和演示结果.结果表明硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统建立的合理性.
关键词：微电子机械系统各向异性腐蚀计算机模拟
分类号：TP39(计算技术、计算机技术)
资助基金：教育部科学技术基金(00065)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 484-487 )
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