纳米压入法MEMS材料力学性能测量与评定标准化的初步设想
赵则祥
王海容
蒋庄德
1.西安交通大学精密工程研究所,2.西安交通大学精密工程研究所,3.西安交通大学精密工程研究所,
摘要：根据纳米压入法测量与评定MEMS材料力学性能的原理,对诸如测量仪器、压头、评定模型、测试条件等影响力学性能测量精确度、测量结果的可比性的主要因素进行了分析.在此基础上,提出对MEMS材料力学性能测量与评定进行标准化的初步设想.
关键词：MEMS材料纳米压入力学性能标准化
分类号：TB3(工程材料学)
资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）(G1999033103)
论文发表日期：2001-10-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 456-459 )
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