微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
何小元
康新
衡伟
黄庆安
1.东南大学,2.东南大学,3.东南大学,4.东南大学,
摘要：介绍了微电子和微电子机械系统(MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备.其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量,灵敏度可达到纳米量级.显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量,灵敏度可达0.1微米.
关键词：微电子机械系统微电子光测力学
分类号：TH74(仪器、仪表)
资助基金：国家自然科学基金(10072017)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 447-451 )
英文信息