微型材料的拉伸测试方法研究
张泰华1
杨业敏1
赵亚溥1
余同希2
孙庆平2
1.中国科学院力学研究所2.香港科技大学机械工程系,
摘要：微电子机械系统技术的迅速崛起,推动了微型材料拉伸测试方法的发展.文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理,并介绍实验中的难点,如试样加工、夹持和对中等方法.并进一步分析能满足未来发展需求的拉伸测试原理.
关键词：微电子机械系统微型材料拉伸
分类号：TB3(工程材料学)
资助基金：国家自然科学基金(10102021,10172086)
论文发表日期：2001-10-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 430-436 )
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