薄膜的力学测试技术
陈隆庆
赵明皞
张统一
1.香港科技大学机械工程系,2.香港科技大学机械工程系,3.香港科技大学机械工程系,
摘要：对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍.
关键词：薄膜力学性能残余应力弹性模量强度硬度纳米压痕压痕断裂法微桥微悬臂梁微旋转结构鼓膜试验
分类号：TB3(工程材料学)
论文发表日期：2001-10-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：17( 413-429 )
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