微电子机械系统中的残余应力问题
钱劲1
刘澂1
张大成2
赵亚溥1
1.中国科学院力学研究所2.北京大学微电子学研究所,
摘要：残余应力一直是微系统技术(MST)发展中一个令人关注的问题,它影响着MEMS器件设计、加工和封装的全过程.文中考虑薄膜中残余应力的起源,介绍测量残余应力的主要方法,并就计算薄膜中残余应力的Stoney公式及其推广形式作了详细的讨论,针对微尺度下残余应力对MEMS结构力学行为的影响,例如屈曲和粘附等进行了初步的分析.
关键词：微电子机械系统残余应力薄膜屈曲粘附响应频率
分类号：TH11(机械学（机械设计基础理论）)
资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）(G19990331103)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：9( 393-401 )
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