微电子机械系统的几个力学问题
余寿文
清华大学工程力学系,
摘要：讨论微电子机械系统(MEMS)的三个力学问题:(1)微系统界面区域的力学性质.(2)薄膜-基底结构界面的裂纹扩展.(3)微机械的弹塑性-粘着接触力学.文中在简述了研究现状后,简要地报导了作者及其合作者对上述三个问题的研究结果.
关键词：微电子机械系统界面(相)力学薄膜基底结构弹塑性一粘着接触力学
分类号：TH11(机械学（机械设计基础理论）)
资助基金：国家自然科学基金(10172050)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 380-384 )
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