微电子机械系统的力学特性与尺度效应
梅涛1
孔德义2
张培强1
伍小平1
1.中国科学技术大学,力学与机械工程系,2.中国科学院,合肥智能机械研究所,
摘要：针对微电子机械系统(MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究.从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征.通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论,为设计和制作微机器人等复杂微系统提供了理论依据.
关键词：微电子机械系统硅材料尺度效应微执行器微机器人微机械
分类号：TH11(机械学（机械设计基础理论）)
资助基金：国家自然科学基金(60075022)国家自然科学基金(69985007)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 373-379 )
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