一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析
张传伟
李妞妞
杨满芝
郭卫
许可俊
葛红玉
1.西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 7100542.西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 7100543.西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 7100544.西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 7100545.西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 7100546.西安科技大学 机械工程学院,陕西 西安 710054
摘要：为获得精密直线运动输出,设计一种压电柔性微驱动系统,系统由压电致动器及柔性微动机构组成,在压电致动器驱动下系统具有亚微米级定位精度.基于柔性铰链导向、传动原理,设计了一种精密柔性微动机构,在此基础上提出了压电柔性微驱动系统设计方案.采用有限元法对系统进行了运动学分析、强度分析、动态分析,分析结果显示,系统具有定位精度高(最大定位误差为0.24μm)、强度性能好、动态性能优良等优势.研究对微驱动系统研究及应用具有一定的参考价值.
关键词：亚微米压电致动器柔性微驱动系统
资助基金：国家自然科学基金(51805428)国家自然科学基金(51705417)陕西省自然科学基础研究计划(20018JQ5205)陕西省重点研发项目(2016KTZDGY4-01)陕西省教育厅专项科研项目(18JK0528)
论文发表日期：2020-06-15
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 68-72 )
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