基于ANSYS的3种四杆柔性铰链机构刚度特性分析
王承涛
王禹桥
杨雪锋
刘玉飞
魏华贤
盛连超
1.中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州,2211162.中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州,2211163.中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州,2211164.中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州,2211165.中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州,2211166.中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州,221116
摘要：单平行四杆柔性铰链机构作为移动副被广泛用于超精密工作台、精密传感器中.超精密工作台依靠其变形产生位移,故刚度特性对其定位精度影响较大.针对3种不同类型的四杆柔性铰链机构,对其刚度进行理论计算,同时,基于有限元软件ANSYS 12.0分析了3种不同类型的四杆柔性铰链机构.通过比较、分析得出了不同的外形尺寸对于四杆柔性铰链机构刚度的影响程度以及3种机构之间的刚度关系,为确定3种机构的适用场合和在MEMS设计过程中柔性铰链的选用提供了依据.
关键词：单平行四杆柔性铰链机构柔性铰链刚度MEMS超精密工作台
资助基金：国家自然科学基金(51305444)高等学校博士学科点专项科研基金(20120095120013)江苏省科技计划(BY2014028-06)
论文发表日期：2017-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 59-63,76 )
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